新潟のマコーが開発した自動洗浄装置が変える半導体メンテナンスの未来

新潟県長岡市に本社を構えるマコー株式会社は、最新のウェットブラスト技術を駆使した洗浄装置「SSB-K」を8月3日に発売しました。この装置は、半導体製造装置に使用される真空ポンプの部品を効率的に洗浄することを目的に開発されました。

半導体産業の拡大と真空ポンプの重要性

近年、生成AIの普及により、データセンターではCPUやGPUなどの半導体の需要が急増しています。これに伴い、半導体製造装置の導入も加速しており、特に真空環境での成膜やエッチングプロセスを支える真空ポンプの役割はますます重要です。真空ポンプは、内部にある成膜材料やエッチングの生成物を吸引するため、定期的なメンテナンスが不可欠となります。具体的には、部品内部には堆積物が蓄積されるため、性能を保つためには洗浄が必要です。

現在の洗浄課題

しかし、半導体製造装置が増加する中で、メンテナンス対象の真空ポンプも急増しており、洗浄作業はほとんどが熟練した技術者の手作業に依存しています。各種のポンプ形状に対応するには、多大な時間と工数を必要とし、さらに堆積物には人体に有害な物質が含まれている場合もあるため、安全性の問題も無視できません。また、従来の強アルカリ性薬剤を使用した浸漬洗浄では、作業環境にも問題が残ります。

マコーの革新

そこでマコーは独自のウェットブラスト技術を応用した自動洗浄装置「SSB-K」を開発しました。この装置では、洗浄対象の部品を回転テーブルに固定し、照射ノズルがオシレーションすることで複雑な形状でも均一かつ高効率に洗浄が可能です。自動洗浄が困難な部分についてはハンドガンで補完する仕組みを持ち、副次的に洗浄品質を担保しつつ、作業者の負担を軽減します。また、ウェットブラスト方式を採用することで、洗浄中に発生する粉じんや堆積物が液中に取り込まれ、作業環境の改善や作業者の安全性も向上しました。

マコー株式会社の紹介

マコー株式会社は、「水」「空気」「研磨材」を混ぜて吹きかける独自の空間で、様々な表面処理を行うウェットブラスト装置の専門メーカーです。卓上サイズから大型設備まで約2,000台以上の装置を製造・販売しており、多岐にわたる業界でのニーズに応えています。自動車や工具、半導体業界などで広く利用されており、国内外の企業にその技術が導入されています。